光刻工艺中负胶因为粘度偏大，和正胶相反的曝光模式，被广泛应用，但是负胶精度没有正胶好，容易显影变形，价格也普遍相对较贵。 负胶：聚合物的短链分子因光照而交联成为长链分子的为负胶（cross linking）。或者说，光刻过程中被的光照的区域在 ...