美国SVT公司的超高真空解理机能够将15mm的方形样品解理成多个1mm×15mm的Bar条，并收集在样品托上以供批量加工。该设备的独特设计可避免器件损坏及样品粘连，且适用于UHV环境。此外，它还可选配钝化层沉积模块，使解理后的Bar条无需暴露于大气即可进行钝化处理 ...

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