内容包括： * beamlux II软件 * 工业型相机 * 光束诊断设备附件 * 衰减器 * 功率和能量传感器探头 * 聚焦型光束品质分析仪 * beamlux II 连续波- 扫描工作模块 * 波前传感器 * squarelux M平方计 * 真空紫外(VUV) - 分光光度计 * 近红外(NIR) - 光谱仪 * 可调真空狭缝 * 极紫外(EUV ...