德国iplas公司推出的Cyrannus1-6"2.45GHz微波等离子化学气相沉积系统，采用独有的多天线耦合技术（CYRANNUS®），实现高SP3键转化率和稳定等离子体，显著提升金刚石沉积速率与质量。系统支持高功率、高气压下运行，具备高效冷却与精确功率调节功能，适用于制备大 ...