在上期的直播中，有观众问：EBR与WEE去边胶的原理有什么不同？今天我们专门来解答一下。 什么是EBR与WEE？ EBR，全称：Edge Bead Removal。 WEE，全称：wafer edge exposure。 在晶圆匀胶后，晶圆边缘的光刻胶会比中间区域的更厚，在后续的工序中会脱落造成污染，因此 ...