Development progress of key components for LPP-EUV light sources
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Development progress of key components for LPP-EUV light sources
We report the development progress of key technologies for the Sn-LPP (Laser-produced-plasma) EUV light source system at Gigaphoton Inc. EUV light source systems have come to be used for a wide range of applications such as lithography exposure tools and inspection tools. In both applications, high power and high radiance together with high ...
2024年8月20日
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