MEMS 模块更新 - COMSOL® 6.1 发布亮点
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2022年11月2日
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主题演讲：由 MEMS 洛伦兹执行器阵列驱动的低电压变形镜系统
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2021年8月7日
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2022年3月24日
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2021年5月23日
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2012年4月17日
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2023年8月10日
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Improving Your Understanding of Advanced MEMS Design Problems: Design and Simulation for Innovation, Better Reliability, Manufacturing and Performance | Microsystems Technology Laboratories
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2022年11月5日
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Analyzing the Viscous and Thermal Damping of a MEMS Micromirror
2018年1月29日
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